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簡要描述:【產(chǎn)品名稱】1400℃-CVD管式爐【爐管尺寸】φ25--φ120mm【加熱區(qū)】300mm 【額定溫度】1400℃【控溫精度】±1℃ 【應(yīng)用領(lǐng)域】化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業(yè)中用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
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詳細介紹
品牌 | 三特爐業(yè) | 升溫速度(達到最高溫) | 90/min |
---|---|---|---|
加熱方式 | 電阻式 | 控溫精度 | ±1℃ |
最高溫度 | 1400℃ | 價格區(qū)間 | 面議 |
儀器種類 | 管式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
【產(chǎn)品名稱】1400℃-CVD管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm
【額定溫度】1400℃
【控溫精度】±1℃
【應(yīng)用領(lǐng)域】1400℃-CVD管式爐是指化學氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業(yè)中用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
一、 產(chǎn)品描述
系列產(chǎn)品主要針對在真空或者保護氣氛下對樣品的熱處理,優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng),可保證實驗數(shù)據(jù)的可靠性;產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料,爐管材質(zhì)優(yōu)良,爐管兩端不銹鋼法蘭密封,可在真空下工作,法蘭上有進氣口和出氣口,可通入保護氣體,精密針型閥可調(diào)節(jié)進氣流量。
二、產(chǎn)品特點
1、 爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料,新型拼裝結(jié)構(gòu),高溫不變形、堅固耐用
2、 發(fā)熱體采用硅碳棒,可承受負荷大,穩(wěn)定且使用壽命長
3、 爐管采用石英管,兩端不銹鋼法蘭設(shè)計簡單、合理、易拆卸,方便進出被燒結(jié)樣品
4、 升溫速度快,從室溫升到1400攝氏度,一般需要50分鐘
5、 采用智能PID溫控儀表,控溫精度高,沖溫小,具有溫度補償和溫度校正功能,精度為±1℃
6、 控溫儀表具有程序功能,可設(shè)定升溫曲線,可編程序30段
7、 一體式結(jié)構(gòu),出色的外觀設(shè)計,美觀、大方
8、 電子元器件均采用德力西產(chǎn)品,帶有漏電保護功能
9、 本機對工作過程中的超溫會發(fā)出報警信號,并自動完成保護動作
10、當儀表程序設(shè)定完成后,只要按下運行按鈕,接下來的工作會自動完成
11、可選配大屏幕無紙記錄儀,實現(xiàn)對升溫曲線的實時記錄,并帶有存儲卡可對實驗數(shù)據(jù)進行分析和打印
12、可選配氣體質(zhì)量流量計,通入氣體可數(shù)字精確控制
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